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解説 マイクロフィールドエミッション電子銃の超小型電子ビームシステムへの応用 (小特集 マイクロマシン)

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解説 マイクロフィールドエミッション電子銃の超小型電子ビームシステムへの応用(小特集 マイクロマシン)

国立国会図書館請求記号
Z16-474
国立国会図書館書誌ID
5298166
資料種別
記事
著者
遠藤 康浩ほか
出版者
東京 : 日本真空協会
出版年
2000-02
資料形態
掲載誌名
真空 = Journal of the Vacuum Society of Japan 43(2) 2000.02
掲載ページ
p.112~118
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デジタル

資料種別
記事
著者・編者
遠藤 康浩
本荘 一郎
伊藤 昭夫
シリーズタイトル
タイトル(掲載誌)
真空 = Journal of the Vacuum Society of Japan
巻号年月日等(掲載誌)
43(2) 2000.02
掲載巻
43
掲載号
2
掲載ページ
112~118