Ta2O5 膜を用いた光導波路素子の作製

• 資料種別: 記事
• タイトル: Ta2O5 膜を用いた光導波路素子の作製
• 著者・編者: 栗林 慎也; 桑村 篤史; 加藤 剛志 他
• 著者標目: 栗林 慎也; 桑村 篤史; 加藤 剛志
• タイトル（掲載誌）: 映像情報メディア学会技術報告 = ITE technical report
• 巻号年月日等（掲載誌）: 24(21) 2000.03
• 掲載巻: 24
• 掲載号: 21
• 掲載ページ: 13～17
• 掲載年月日（W3CDTF）: 2000-03
• ISSN（掲載誌）: 1342-6893
• ISSN-L（掲載誌）: 1342-6893
• 出版事項（掲載誌）: 東京 : 映像情報メディア学会
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: 屈折率; フォトリソグラフィ; optical waveguide; refractive index; photo lithography
• NDLC: ZN33
• 対象利用者: 一般
• レポート番号（雑誌記事）: VIR2000-21
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Z16-1010
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 5357904; http://id.ndl.go.jp/bib/5357904
• 整理区分コード: 632