アルミニウム合金を用いたドライ真空ポンプと反応性ガスの排気 (小特集 ドライポンプ)
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 相川 純一菅家 幸雄湯山 純平
- シリーズタイトル
- タイトル（掲載誌）
- 真空 = Journal of the Vacuum Society of Japan
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 43(5) 2000.05
- 掲載巻
- 43
- 掲載号
- 5
- 掲載ページ
- 564～571