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アルミニウム合金を用...

アルミニウム合金を用いたドライ真空ポンプと反応性ガスの排気 (小特集 ドライポンプ)

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アルミニウム合金を用いたドライ真空ポンプと反応性ガスの排気(小特集 ドライポンプ)

国立国会図書館請求記号
Z16-474
国立国会図書館書誌ID
5359793
資料種別
記事
著者
相川 純一ほか
出版者
東京 : 日本真空協会
出版年
2000-05
資料形態
掲載誌名
真空 = Journal of the Vacuum Society of Japan 43(5) 2000.05
掲載ページ
p.564~571
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デジタル

資料種別
記事
著者・編者
相川 純一
菅家 幸雄
湯山 純平
シリーズタイトル
タイトル(掲載誌)
真空 = Journal of the Vacuum Society of Japan
巻号年月日等(掲載誌)
43(5) 2000.05
掲載巻
43
掲載号
5
掲載ページ
564~571