解説 樹脂薄膜および金属薄膜の精密超多積層プロセスおよびこれを用いた精密キャパシタの開発 (1999年度(第19回)精密工学会技術賞)
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 本田 和義越後 紀康小田桐 優 他
- シリーズタイトル
- タイトル（掲載誌）
- 精密工学会誌 = Journal of the Japan Society for Precision Engineering / 会誌編集委員会 編
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 66(8) (通号 788) 2000.8
- 掲載巻
- 66
- 掲載号
- 8
- 掲載通号
- 788