プラズマとスパッタ粒子空間分布の可視化--プレーナマグネトロン放電からPDP放電まで

• 資料種別: 記事
• タイトル: プラズマとスパッタ粒子空間分布の可視化--プレーナマグネトロン放電からPDP放電まで
• 著者・編者: 松田 良信; 大友 晃治; 太田 秀憲 他
• 著者標目: 松田 良信; 大友 晃治; 太田 秀憲
• タイトル（掲載誌）: 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
• 巻号年月日等（掲載誌）: 100 (通号 132) 2000.06.22
• 掲載巻: 100
• 掲載通号: 132
• 掲載ページ: 13～18
• 掲載年月日（W3CDTF）: 2000-06-22
• ISSN（掲載誌）: 0913-5685
• ISSN-L（掲載誌）: 0913-5685
• 出版事項（掲載誌）: 東京 : 電子情報通信学会
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: ITO; 反応性スパッタリング; 発光分光; planar magnetron; reactive sputtering; optical emission
• NDLC: ZN33
• 対象利用者: 一般
• レポート番号（雑誌記事）: EID2000-3
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Z16-940
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 5462107; http://id.ndl.go.jp/bib/5462107
• 整理区分コード: 632