超音波ねじり振動を利用した単結晶シリコンの延性モード切削

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超音波ねじり振動を利用した単結晶シリコンの延性モード切削

国立国会図書館請求記号
Z16-1147
国立国会図書館書誌ID
5463097
資料種別
記事
著者
越水 重臣ほか
出版者
東京 : 砥粒加工学会
出版年
2000-09
資料形態
掲載誌名
Abrasive technology : 砥粒加工学会誌 : journal of the Japan Society for Abrasive Technology 44(9) (通号 217) 2000.9
掲載ページ
p.414~419
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
越水 重臣
鈴木 秀幸
タイトル(掲載誌)
Abrasive technology : 砥粒加工学会誌 : journal of the Japan Society for Abrasive Technology
巻号年月日等(掲載誌)
44(9) (通号 217) 2000.9
掲載巻
44
掲載号
9
掲載通号
217
掲載ページ
414~419