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大口径、低欠陥SiC単結晶成長の現状 (特集 ハードエレクトロニクス--超低損失パワーデバイス技術 ; 超低損失パワーデバイスの展望)

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大口径、低欠陥SiC単結晶成長の現状

(特集 ハードエレクトロニクス--超低損失パワーデバイス技術 ; 超低損失パワーデバイスの展望)

国立国会図書館請求記号
Z16-2513
国立国会図書館書誌ID
5468932
資料種別
記事
著者
C.H. Carter,Jrほか
出版者
東京 : 新機能素子研究開発協会
出版年
2000
資料形態
掲載誌名
FEDジャーナル / 新機能素子研究開発協会 [編] 11(2) 2000
掲載ページ
p.7~10
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資料詳細

要約等:

記事種別: 翻訳(提供元: CiNii Research)

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資料種別
記事
著者・編者
C.H. Carter,Jr
M. Brady
D. Malta 他
タイトル(掲載誌)
FEDジャーナル / 新機能素子研究開発協会 [編]
巻号年月日等(掲載誌)
11(2) 2000
掲載巻
11
掲載号
2
掲載ページ
7~10