石英と多結晶シリコンから成る低損失LPSの作製

• 資料種別: 記事
• タイトル: 石英と多結晶シリコンから成る低損失LPSの作製
• 著者・編者: 堀江 晴彦; 室 幸市; 依田 秀彦 他
• 著者標目: 堀江 晴彦; 室 幸市; 依田 秀彦
• タイトル（掲載誌）: 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
• 巻号年月日等（掲載誌）: 100(262) 2000.8.25
• 掲載巻: 100
• 掲載号: 262
• 掲載ページ: 13～18
• 掲載年月日（W3CDTF）: 2000-08-25
• ISSN（掲載誌）: 0913-5685
• ISSN-L（掲載誌）: 0913-5685
• 出版事項（掲載誌）: 東京 : 電子情報通信学会
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: 積層形偏光分離素子; 多結晶シリコン; 交互多層膜; スパッタリング; laminated polarization splitters; poly-silicon; multilayer films; sputtering
• NDLC: ZN33
• 対象利用者: 一般
• レポート番号（雑誌記事）: OPE2000-55
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Z16-940
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 5482633; http://id.ndl.go.jp/bib/5482633
• 整理区分コード: 632