TEM Observation of the Platelets in Hydrogen Implanted Silicon

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TEM Observation of the Platelets in Hydrogen Implanted Silicon

国立国会図書館請求記号
Z74-B826
国立国会図書館書誌ID
5483511
資料種別
記事
著者
岩田 博之ほか
出版者
豊田 : 愛知工業大学総合技術研究所
出版年
1999-06
資料形態
掲載誌名
愛知工業大学総合技術研究所研究報告 / 研究報告編集委員会 編 (通号 1) 1999.06
掲載ページ
p.31~35
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
岩田 博之
金森 栄次
高木 誠 他
並列タイトル等
水素イオン注入により発生したシリコン結晶内プレートレットのTEM観察
タイトル(掲載誌)
愛知工業大学総合技術研究所研究報告 / 研究報告編集委員会 編
巻号年月日等(掲載誌)
(通号 1) 1999.06
掲載通号
1
掲載ページ
31~35
掲載年月日(W3CDTF)
1999-06