RFスパッタリング法...

RFスパッタリング法により作製されたa-SiOx:H薄膜の微細構造と発光機構の関係

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RFスパッタリング法により作製されたa-SiOx:H薄膜の微細構造と発光機構の関係

国立国会図書館請求記号
Z14-125
国立国会図書館書誌ID
5620044
資料種別
記事
著者
吉田 謙一ほか
出版者
神戸 : 甲南大学
出版年
2000
資料形態
掲載誌名
甲南大学紀要. 理学編 / 甲南大学 編 47(2) 2000
掲載ページ
p.119~132
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
吉田 謙一
稲田 貢
梅津 郁朗 他
タイトル(掲載誌)
甲南大学紀要. 理学編 / 甲南大学 編
巻号年月日等(掲載誌)
47(2) 2000
掲載巻
47
掲載号
2
掲載ページ
119~132
掲載年月日(W3CDTF)
2000