数値制御プラズマCVMによるX線ミラーの加工に関する研究(第1報)X線ミラー加工用装置の開発
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 森 勇藏山村 和也佐野 泰久
- タイトル（掲載誌）
- 精密工学会誌 = Journal of the Japan Society for Precision Engineering / 会誌編集委員会 編
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 67(1) (通号 793) 2001.1
- 掲載巻
- 67
- 掲載号
- 1
- 掲載通号
- 793
- 掲載ページ
- 131～136