IDDQ故障診断方式を用いたCMOS製造工程における欠陥箇所特定とそのモード分類

• 資料種別: 記事
• タイトル: IDDQ故障診断方式を用いたCMOS製造工程における欠陥箇所特定とそのモード分類
• 著者・編者: 真田 克; 植平 和生; 布施 英悟
• シリーズタイトル: 特集 LSIシステムの実装・モジュール化,テスト技術
• 著者標目: 真田 克; 植平 和生; 布施 英悟
• タイトル（掲載誌）: 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
• 巻号年月日等（掲載誌）: 100(488) 2000.12.8
• 掲載巻: 100
• 掲載号: 488
• 掲載ページ: 9～15
• 掲載年月日（W3CDTF）: 2000-12-08
• ISSN（掲載誌）: 0913-5685
• ISSN-L（掲載誌）: 0913-5685
• 出版事項（掲載誌）: 東京 : 電子情報通信学会
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: LSI; 外観検査; Visual Abnormalities; Fault Diagnosis; Manufacturing Process
• NDLC: ZN33
• 対象利用者: 一般
• レポート番号（雑誌記事）: ICD200-175
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Z16-940
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 5637811; http://id.ndl.go.jp/bib/5637811
• 整理区分コード: 632