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雑誌
電子情報通信学会技術研究報告 : 信学技報
巻号
100(479)-100(489) 20001200-20001200
記事
EB・FIB統合化テ...
EB・FIB統合化テストシステムの開発 (特集 LSIシステムの実装・モジュール化,テスト技術)
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EB・FIB統合化テストシステムの開発
(特集 LSIシステムの実装・モジュール化,テスト技術)
国立国会図書館請求記号
Z16-940
国立国会図書館書誌ID
5637815
資料種別
記事
著者
三浦 克介ほか
出版者
東京 : 電子情報通信学会
出版年
2000-12-08
資料形態
紙
掲載誌名
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 100(488) 2000.12.8
掲載ページ
p.25~32
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書誌情報
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書誌情報を出力
紙
資料種別
記事
タイトル
EB・FIB統合化テストシステムの開発
著者・編者
三浦 克介
中前 幸治
藤岡 弘
シリーズタイトル
特集 LSIシステムの実装・モジュール化,テスト技術
著者標目
三浦 克介
中前 幸治
藤岡 弘
タイトル(掲載誌)
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
巻号年月日等(掲載誌)
100(488) 2000.12.8
掲載巻
100
掲載号
488
掲載ページ
25~32
掲載年月日(W3CDTF)
2000-12-08
ISSN(掲載誌)
0913-5685
ISSN-L(掲載誌)
0913-5685
出版事項(掲載誌)
東京 : 電子情報通信学会
出版地(国名コード)
JP
本文の言語コード
jpn
件名標目
EBテストシステム
FIB加工装置
回路修正
二次電子
信号波形
EB test system
FIB processing and repair system
circuit modification
secondary electron
signal waveform
NDLC
ZN33
対象利用者
一般
レポート番号(雑誌記事)
ICD200-177
所蔵機関
国立国会図書館
請求記号
Z16-940
連携機関・データベース
国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID(NDLBibID)
5637815
http://id.ndl.go.jp/bib/5637815
整理区分コード
632
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