ワイヤソーによる水晶切断加工技術の研究

• 資料種別: 記事
• タイトル: ワイヤソーによる水晶切断加工技術の研究
• 著者・編者: 渡邉 隆彌; 小島 正康
• 著者標目: 渡邉 隆彌; 小島 正康
• タイトル（掲載誌）: 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
• 巻号年月日等（掲載誌）: 100(581) 2001.1.26
• 掲載巻: 100
• 掲載号: 581
• 掲載ページ: 35～42
• 掲載年月日（W3CDTF）: 2001-01-26
• ISSN（掲載誌）: 0913-5685
• ISSN-L（掲載誌）: 0913-5685
• 出版事項（掲載誌）: 東京 : 電子情報通信学会
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: 一方向性ワイヤソー; ランバード加工人工水晶; 遊離砥粒; 反り; 平行度; unidirectional multi-wire-saw; rumbered quartz crystal; isolation abrasive grain; warp; total thickness variation
• NDLC: ZN33
• 対象利用者: 一般
• レポート番号（雑誌記事）: EA2000-104
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Z16-940
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 5674387; http://id.ndl.go.jp/bib/5674387
• 整理区分コード: 632