各種イオンプレーティング法により(011)[100]方位の珪素鋼単結晶表面に形成したTiN、TiCNおよびTiC膜の集合組織
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 井口 征夫鈴木 一弘
- タイトル（掲載誌）
- 日本金属学会誌 = The journal of the Japan Institute of Metals and Materials
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 65(2) 2001
- 掲載巻
- 65
- 掲載号
- 2
- 掲載ページ
- 78～84
- 掲載年月日（W3CDTF）
- 2001