解説半導体ウェーハの次世代表面検査・評価システム (特集エレクトロニクスにおける非破壊検査)

解説半導体ウェーハの次世代表面検査・評価システム

(特集エレクトロニクスにおける非破壊検査)

掲載誌名: 非破壊検査 : journal of the Japanese Society for Non-destructive Inspection / 日本非破壊検査協会編 50(5) 2001.5

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資料種別: 記事
タイトル: 解説半導体ウェーハの次世代表面検査・評価システム
著者・編者: 宇佐見康継
シリーズタイトル: 特集エレクトロニクスにおける非破壊検査
著者標目: 宇佐見康継
タイトル（掲載誌）: 非破壊検査 : journal of the Japanese Society for Non-destructive Inspection / 日本非破壊検査協会編
巻号年月日等（掲載誌）: 50(5) 2001.5
掲載巻: 50
掲載号: 5
掲載ページ: 272～276
掲載年月日（W3CDTF）: 2001-05
ISSN（掲載誌）: 0367-5866
ISSN-L（掲載誌）: 0367-5866
出版事項（掲載誌）: 東京 : 日本非破壊検査協会
出版地（国名コード）: JP
本文の言語コード: jpn
件名標目: 歩留り管理
検査装置
暗視野
明視野
SEM
NDLC: ZM16
対象利用者: 一般
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: Z14-41
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 5757549
http://id.ndl.go.jp/bib/5757549
整理区分コード: 632