技術資料 高安定プラズマイオンプレーティング装置による各種成膜技術への応用 (小特集 最近のスパッタリングとイオンプレーティング技術)
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 田中 勝牧野 博之筑後 了治 他
- シリーズタイトル
- タイトル（掲載誌）
- 真空 = Journal of the Vacuum Society of Japan
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 44(4) 2001.4
- 掲載巻
- 44
- 掲載号
- 4
- 掲載ページ
- 435～439