DPSS CWレーザを利用したガラス上の選択単結晶シリコン成長とそのトランジスタ特性 (シリコン材料・デバイス--低温ポリSiTFTと有機EL技術)

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DPSS CWレーザを利用したガラス上の選択単結晶シリコン成長とそのトランジスタ特性

(シリコン材料・デバイス--低温ポリSiTFTと有機EL技術)

国立国会図書館請求記号
Z16-940
国立国会図書館書誌ID
5775580
資料種別
記事
著者
原 明人ほか
出版者
東京 : 電子情報通信学会
出版年
2001-04-20
資料形態
掲載誌名
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 101(17) 2001.4.20
掲載ページ
p.21~27
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
原 明人
吉野 健一
竹内 文代 他
タイトル(掲載誌)
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
巻号年月日等(掲載誌)
101(17) 2001.4.20
掲載巻
101
掲載号
17
掲載ページ
21~27