陽極酸化法による6H-SiCの犠牲酸化とショットキーダイオード特性

• 資料種別: 記事
• タイトル: 陽極酸化法による6H-SiCの犠牲酸化とショットキーダイオード特性
• 著者・編者: 加藤 正史; 市村 正也; 荒井 英輔
• 著者標目: 加藤 正史; 市村 正也; 荒井 英輔
• タイトル（掲載誌）: 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
• 巻号年月日等（掲載誌）: 101(83) 2001.5.25
• 掲載巻: 101
• 掲載号: 83
• 掲載ページ: 13～18
• 掲載年月日（W3CDTF）: 2001-05-25
• ISSN（掲載誌）: 0913-5685
• ISSN-L（掲載誌）: 0913-5685
• 出版事項（掲載誌）: 東京 : 電子情報通信学会
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: 6H-SiC; 陽極酸化; 犠牲酸化; ショットキー電極; anodic oxidation; sacrificial oxidation; Schottky contact
• NDLC: ZN33
• 対象利用者: 一般
• レポート番号（雑誌記事）: SDM2001-32
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Z16-940
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 5800699; http://id.ndl.go.jp/bib/5800699
• 整理区分コード: 632