解説 シリコンのオゾン酸化 (小特集 極薄シリコン酸化膜の進展)
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- タイトル
- 著者・編者
- 黒河 明
- シリーズタイトル
- 著者標目
- タイトル（掲載誌）
- 真空 = Journal of the Vacuum Society of Japan
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 44(8) 2001.8
- 掲載巻
- 44
- 掲載号
- 8
- 掲載ページ
- 707～714