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解説 シリコンのオゾン酸化 (小特集 極薄シリコン酸化膜の進展)

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解説 シリコンのオゾン酸化(小特集 極薄シリコン酸化膜の進展)

国立国会図書館請求記号
Z16-474
国立国会図書館書誌ID
5905398
資料種別
記事
著者
黒河 明
出版者
東京 : 日本真空協会
出版年
2001-08
資料形態
掲載誌名
真空 = Journal of the Vacuum Society of Japan 44(8) 2001.8
掲載ページ
p.707~714
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デジタル

資料種別
記事
著者・編者
黒河 明
著者標目
タイトル(掲載誌)
真空 = Journal of the Vacuum Society of Japan
巻号年月日等(掲載誌)
44(8) 2001.8
掲載巻
44
掲載号
8
掲載ページ
707~714