300mm/130nm量産化対応半導体製造プロセスの最新動向 (特集1 半導体・液晶製造技術)

記事を表すアイコン

300mm/130nm量産化対応半導体製造プロセスの最新動向

(特集1 半導体・液晶製造技術)

国立国会図書館請求記号
Z16-1638
国立国会図書館書誌ID
5970794
資料種別
記事
著者
安平 光雄
出版者
東京 : 新樹社
出版年
2001-11
資料形態
掲載誌名
月刊トライボロジー 15(11) (通号 171) 2001.11
掲載ページ
p.12~14
すべて見る

全国の図書館の所蔵

国立国会図書館以外の全国の図書館の所蔵状況を表示します。

所蔵のある図書館から取寄せることが可能かなど、資料の利用方法は、ご自身が利用されるお近くの図書館へご相談ください

その他

  • CiNii Research

    検索サービス
    連携先のサイトで、CiNii Researchが連携している機関・データベースの所蔵状況を確認できます。

書誌情報

この資料の詳細や典拠(同じ主題の資料を指すキーワード、著者名)等を確認できます。

資料種別
記事
著者・編者
安平 光雄
著者標目
タイトル(掲載誌)
月刊トライボロジー
巻号年月日等(掲載誌)
15(11) (通号 171) 2001.11
掲載巻
15
掲載号
11
掲載通号
171