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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 岩田 博之高木 誠徳田 豊 他
- 並列タイトル等
- Hイオン注入されたシリコンの欠陥分布観察
- タイトル（掲載誌）
- 愛知工業大学総合技術研究所研究報告 / 研究報告編集委員会 編
- 巻号年月日等（掲載誌）
- (2) 2000.6
- 掲載号
- 2
- 掲載ページ
- 33～38
- 掲載年月日（W3CDTF）
- 2000-06