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雑誌電子情報通信学会技術研究報告 : 信学技報
巻号101(496)-101(507) 20011200-20011200
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高周波マグネトロンスパッタリングによる遷移金属窒化物・炭化物薄膜の作製と冷陰極材料としての評価

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高周波マグネトロンスパッタリングによる遷移金属窒化物・炭化物薄膜の作製と冷陰極材料としての評価

国立国会図書館請求記号
Z16-940
国立国会図書館書誌ID
6043646
資料種別
記事
著者
後藤 康仁ほか
出版者
東京 : 電子情報通信学会
出版年
2001-12-14
資料形態
紙
掲載誌名
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 101(501) 2001.12.14
掲載ページ
p.45～50
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紙

資料種別
記事
タイトル
高周波マグネトロンスパッタリングによる遷移金属窒化物・炭化物薄膜の作製と冷陰極材料としての評価
著者・編者
後藤 康仁
紀和 伸政
中原 宏勲 他
著者標目
後藤 康仁
紀和 伸政
中原 宏勲
タイトル（掲載誌）
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
巻号年月日等（掲載誌）
101(501) 2001.12.14
掲載巻
101
掲載号
501
掲載ページ
45～50
掲載年月日（W3CDTF）
2001-12-14