書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 金 智遠藤 眞橋詰 保 他
- 並列タイトル等
- ドライエッチングによる窒化ガリウム系材料のナノ構造形成プロセス
- タイトル(掲載誌)
- 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
- 巻号年月日等(掲載誌)
- 101(621) 2002.1.29
- 掲載巻
- 101
- 掲載号
- 621
- 掲載ページ
- 19~26
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