Residual Stress of TiNi Shape Memory Alloy Thin Films with (111) Single-crystal Silicon Wafer
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- Tingbin WuBohong JiangXuan Qi 他
- タイトル（掲載誌）
- Materials transactions
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 43(3) 2002.3
- 掲載巻
- 43
- 掲載号
- 3
- 掲載ページ
- 566～570
- 掲載年月日（W3CDTF）
- 2002-03