VB法による6インチGaAs基板の量産化

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VB法による6インチGaAs基板の量産化

国立国会図書館請求記号
Z16-298
国立国会図書館書誌ID
6113256
資料種別
記事
著者
石川 幸雄ほか
出版者
大阪 : 住友電気工業
出版年
2002-03
資料形態
掲載誌名
住友電工テクニカルレビュー = Technical review : 住友電工グループ技術論文誌 (160) 2002.3
掲載ページ
p.15~19
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
石川 幸雄
羽木 良明
中井 龍資 他
タイトル(掲載誌)
住友電工テクニカルレビュー = Technical review : 住友電工グループ技術論文誌
巻号年月日等(掲載誌)
(160) 2002.3
掲載号
160
掲載ページ
15~19
掲載年月日(W3CDTF)
2002-03
ISSN(掲載誌)
1343-4330