プラズマ酸窒化中のシリコン表面応力変動 (第42回真空に関する連合講演会プロシーディングス)
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 板倉 明子成島 哲也北島 正弘
- シリーズタイトル
- タイトル（掲載誌）
- 真空 = Journal of the Vacuum Society of Japan
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 45(3) 2002.3
- 掲載巻
- 45
- 掲載号
- 3
- 掲載ページ
- 127～129