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プラズマ酸窒化中のシ...

プラズマ酸窒化中のシリコン表面応力変動 (第42回真空に関する連合講演会プロシーディングス)

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プラズマ酸窒化中のシリコン表面応力変動(第42回真空に関する連合講演会プロシーディングス)

国立国会図書館請求記号
Z16-474
国立国会図書館書誌ID
6144090
資料種別
記事
著者
板倉 明子ほか
出版者
東京 : 日本真空協会
出版年
2002-03
資料形態
掲載誌名
真空 = Journal of the Vacuum Society of Japan 45(3) 2002.3
掲載ページ
p.127~129
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デジタル

資料種別
記事
著者・編者
板倉 明子
成島 哲也
北島 正弘
タイトル(掲載誌)
真空 = Journal of the Vacuum Society of Japan
巻号年月日等(掲載誌)
45(3) 2002.3
掲載巻
45
掲載号
3
掲載ページ
127~129