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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 沢田 史子大薮 多可志吉田 武稔 他
- シリーズタイトル
- タイトル(掲載誌)
- 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌 = IEEJ transactions on sensors and micromachines
- 巻号年月日等(掲載誌)
- 122(6) 2002.6
- 掲載巻
- 122
- 掲載号
- 6
- 掲載ページ
- 300~305