CF4プラズマにおけるCF2ラジカルに及ぼす壁温度加熱の影響
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 愛敬 仁後藤 みき荒井 俊彦
- タイトル（掲載誌）
- 神奈川工科大学研究報告. B, 理工学編 = Research reports of Kanagawa Institute of Technology. Pt. B, Science and technology / 神奈川工科大学 編
- 巻号年月日等（掲載誌）
- (26) 2002.3
- 掲載号
- 26
- 掲載ページ
- 11～14
- 掲載年月日（W3CDTF）
- 2002-03
- ISSN（掲載誌）
- 0916-1902