CF4プラズマにおけ...

CF4プラズマにおけるCF2ラジカルに及ぼす壁温度加熱の影響

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CF4プラズマにおけるCF2ラジカルに及ぼす壁温度加熱の影響

国立国会図書館請求記号
Z14-689
国立国会図書館書誌ID
6194784
資料種別
記事
著者
愛敬 仁ほか
出版者
厚木 : 神奈川工科大学
出版年
2002-03
資料形態
掲載誌名
神奈川工科大学研究報告. B, 理工学編 = Research reports of Kanagawa Institute of Technology. Pt. B, Science and technology / 神奈川工科大学 編 (26) 2002.3
掲載ページ
p.11~14
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書誌情報

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デジタル

資料種別
記事
著者・編者
愛敬 仁
後藤 みき
荒井 俊彦
タイトル(掲載誌)
神奈川工科大学研究報告. B, 理工学編 = Research reports of Kanagawa Institute of Technology. Pt. B, Science and technology / 神奈川工科大学 編
巻号年月日等(掲載誌)
(26) 2002.3
掲載号
26
掲載ページ
11~14
掲載年月日(W3CDTF)
2002-03
ISSN(掲載誌)
0916-1902