Cu/TiN二層膜のX線残留応力測定(特集 X線材料強度)

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資料種別: 記事
タイトル: Cu/TiN二層膜のX線残留応力測定
著者・編者: 松英達也
英崇夫
池内保一
シリーズタイトル: 特集 X線材料強度
著者標目: 松英達也
英崇夫
池内保一
タイトル（掲載誌）: 材料 / 日本材料学会 [編]
巻号年月日等（掲載誌）: 51(7) 2002.7
掲載巻: 51
掲載号: 7
掲載ページ: 743～748
掲載年月日（W3CDTF）: 2002-07
ISSN（掲載誌）: 0514-5163
ISSN-L（掲載誌）: 0514-5163
出版事項（掲載誌）: 京都 : 日本材料学会
出版地（国名コード）: JP
本文の言語コード: jpn
件名標目: Cu film
Titanium nitride film
RF sputtering
Arc ion plating
Crystal structure
Residual stress
X-ray diffraction
NDLC: ZM16
対象利用者: 一般
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: Z14-267
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 6211727
http://id.ndl.go.jp/bib/6211727
整理区分コード: 632