GaNナノ針状結晶の形成と電界放出

• 資料種別: 記事
• タイトル: GaNナノ針状結晶の形成と電界放出
• 著者・編者: 寺田 雄祐; 漆戸 達大; 吉田 治正 他
• シリーズタイトル: 小特集テーマ:進展する窒化物半導体光・電子デバイスの現状,及び一般
• 著者標目: 寺田 雄祐; 漆戸 達大; 吉田 治正
• タイトル（掲載誌）: 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
• 巻号年月日等（掲載誌）: 102(119) 2002.6.15
• 掲載巻: 102
• 掲載号: 119
• 掲載ページ: 1～4
• 掲載年月日（W3CDTF）: 2002-06-15
• ISSN（掲載誌）: 0913-5685
• ISSN-L（掲載誌）: 0913-5685
• 出版事項（掲載誌）: 東京 : 電子情報通信学会
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: 反応性イオンエッチング; 塩素プラズマ; RIE; Cl2 plasma; nanotips; filed emission
• NDLC: ZN33
• 対象利用者: 一般
• レポート番号（雑誌記事）: LQE2002-71
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Z16-940
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 6221402; http://id.ndl.go.jp/bib/6221402
• 整理区分コード: 632