解説位置決め制御技術の現状と動向(ミニ特集超高精度微細加工への挑戦--制御と計測)

掲載誌名: 計測と制御 : journal of the Society of Instrument and Control Engineers 41(11) 2002.11

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資料種別: 記事
タイトル: 解説位置決め制御技術の現状と動向
著者・編者: 大塚二郎
シリーズタイトル: ミニ特集超高精度微細加工への挑戦--制御と計測
著者標目: 大塚二郎
タイトル（掲載誌）: 計測と制御 : journal of the Society of Instrument and Control Engineers
巻号年月日等（掲載誌）: 41(11) 2002.11
掲載巻: 41
掲載号: 11
掲載ページ: 769～774
掲載年月日（W3CDTF）: 2002-11
ISSN（掲載誌）: 0453-4662
ISSN-L（掲載誌）: 0453-4662
出版事項（掲載誌）: 東京 : 計測自動制御学会 ; 1962-
出版地（国名コード）: JP
本文の言語コード: jpn
件名標目: positioning control
精密超精密位置決め
precision and ultraprecision positioning
NDLC: ZM11
対象利用者: 一般
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: Z14-106
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 6355901
http://id.ndl.go.jp/bib/6355901
整理区分コード: 632