酸素リモートプラズマを用いたZnOのMOCVD成長

• 資料種別: 記事
• タイトル: 酸素リモートプラズマを用いたZnOのMOCVD成長
• 著者・編者: 中村 篤志; 清水 克美; 青木 徹 他
• 著者標目: 中村 篤志; 清水 克美; 青木 徹
• タイトル（掲載誌）: 映像情報メディア学会技術報告 = ITE technical report
• 巻号年月日等（掲載誌）: 27(1-7) 2003.1
• 掲載巻: 27
• 掲載号: 1-7
• 掲載ページ: 65～68
• 掲載年月日（W3CDTF）: 2003-01
• ISSN（掲載誌）: 1342-6893
• ISSN-L（掲載誌）: 1342-6893
• 出版事項（掲載誌）: 東京 : 映像情報メディア学会
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: リモートプラズマMOCVD; 酸素プラズマ; プラズマスペクトル; remote plasma enhanced MOCVD; Oxygen plasma; plasma spectrum
• NDLC: ZN33
• 対象利用者: 一般
• レポート番号（雑誌記事）: IDY2003-17
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Z16-1010
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 6499498; http://id.ndl.go.jp/bib/6499498
• 整理区分コード: 632