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リモートプラズマMOCVD法によるZnO薄膜の成長

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リモートプラズマMOCVD法によるZnO薄膜の成長

国立国会図書館請求記号
Z16-297
国立国会図書館書誌ID
6563584
資料種別
記事
著者
中村 篤志ほか
出版者
浜松 : 静岡大学電子工学研究所
出版年
2002
資料形態
掲載誌名
静岡大学電子工学研究所研究報告 37 2002
掲載ページ
p.9~15
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
中村 篤志
重盛 聡
清水 克美 他
タイトル(掲載誌)
静岡大学電子工学研究所研究報告
巻号年月日等(掲載誌)
37 2002
掲載巻
37
掲載ページ
9~15
掲載年月日(W3CDTF)
2002
ISSN(掲載誌)
0286-3383