MOVPE法による各種基板上へのInN膜の成長及び評価

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MOVPE法による各種基板上へのInN膜の成長及び評価

国立国会図書館請求記号
Z16-940
国立国会図書館書誌ID
6618580
資料種別
記事
著者
下野 健二ほか
出版者
東京 : 電子情報通信学会
出版年
2003-05-15
資料形態
掲載誌名
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 103(48) 2003.5.15
掲載ページ
p.19~24
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
下野 健二
神保 正宏
渡辺 康弘 他
タイトル(掲載誌)
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
巻号年月日等(掲載誌)
103(48) 2003.5.15
掲載巻
103
掲載号
48
掲載ページ
19~24
掲載年月日(W3CDTF)
2003-05-15