繊維配向を有するTiNおよびTiCN薄膜の熱による残留応力変化にともなう機械的強度への一影響(特集 X線材料強度)

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資料種別: 記事
タイトル: 繊維配向を有するTiNおよびTiCN薄膜の熱による残留応力変化にともなう機械的強度への一影響
著者・編者: 後藤昌英
佐々木敏彦
広瀬幸雄
シリーズタイトル: 特集 X線材料強度
著者標目: 後藤昌英
佐々木敏彦
広瀬幸雄
タイトル（掲載誌）: 材料 / 日本材料学会 [編]
巻号年月日等（掲載誌）: 52(7) 2003.7
掲載巻: 52
掲載号: 7
掲載ページ: 744～749
掲載年月日（W3CDTF）: 2003-07
ISSN（掲載誌）: 0514-5163
ISSN-L（掲載誌）: 0514-5163
出版事項（掲載誌）: 京都 : 日本材料学会
出版地（国名コード）: JP
本文の言語コード: jpn
件名標目: Thin films
Annealing
X-ray diffraction
Orientation distribution function
Residual stress
Dynamic hardness
Scratch test
NDLC: ZM16
対象利用者: 一般
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: Z14-267
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 6647692
http://id.ndl.go.jp/bib/6647692
整理区分コード: 632