φ300シリコンウエハ超精密研削加工シミュレーション
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 佐川 克雄江田 弘周 立波 他
- タイトル（掲載誌）
- Abrasive technology : 砥粒加工学会誌 : journal of the Japan Society for Abrasive Technology
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 47(8) (通号 252) 2003.8
- 掲載巻
- 47
- 掲載号
- 8
- 掲載通号
- 252
- 掲載ページ
- 440～445