モンテカルロ法による...

モンテカルロ法によるイオン化スパッタシミュレーション(第2報,ウエハ表面におけるCu原子・イオンの挙動の考慮)

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モンテカルロ法によるイオン化スパッタシミュレーション(第2報,ウエハ表面におけるCu原子・イオンの挙動の考慮)

国立国会図書館請求記号
Z16-109
国立国会図書館書誌ID
6835379
資料種別
記事
著者
山崎 修ほか
出版者
東京 : 日本機械学会 ; 1979-2010
出版年
2004-01
資料形態
掲載誌名
日本機械学会論文集. B編 70(689) 2004.1
掲載ページ
p.17~24
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
山崎 修
高木 茂行
木下 和哉 他
タイトル(掲載誌)
日本機械学会論文集. B編
巻号年月日等(掲載誌)
70(689) 2004.1
掲載巻
70
掲載号
689
掲載ページ
17~24
掲載年月日(W3CDTF)
2004-01