PZT圧電体膜を用いた異常音検知マイクロセンサの作製とその評価
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 村上 修一井上 幸二鈴木 義彦 他
- タイトル（掲載誌）
- 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌 = IEEJ transactions on sensors and micromachines
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 124(4) 2004.4
- 掲載巻
- 124
- 掲載号
- 4
- 掲載ページ
- 143～147
- 掲載年月日（W3CDTF）
- 2004-04