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雑誌Japanese journal of applied physics Part. 1 Regular papers, brief communications & review papers : JJAP
巻号Part. 1 Part. 1 43(5A)(592);MAY 2004
記事Pt/BaxSr(1...

Pt/BaxSr(1-x)TiO3/Pt Capacitor Technology for 0.15μm Embedded Dynamic Random Access Memory

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Pt/BaxSr(1-x)TiO3/Pt Capacitor Technology for 0.15μm Embedded Dynamic Random Access Memory

国立国会図書館請求記号
Z53-A375
国立国会図書館書誌ID
6941863
資料種別
記事
著者
Yoshikazu Tsunemineほか
出版者
Tokyo : Published by the Japan Society of Applied Physics through the Institute of Pure and Applied Physics
出版年
2004-05
資料形態
デジタル
掲載誌名
Japanese journal of applied physics. Part. 1, Regular papers, brief communications & review papers : JJAP 43(5A) (通号 592) 2004.5
掲載ページ
p.2457～2461
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デジタル

資料種別
記事
タイトル
Pt/BaxSr(1-x)TiO3/Pt Capacitor Technology for 0.15μm Embedded Dynamic Random Access Memory
著者・編者
Yoshikazu Tsunemine
Tomonori Okudaira
Keiichiro Kashihara 他
著者標目
Yoshikazu Tsunemine
Tomonori Okudaira
Keiichiro Kashihara
タイトル（掲載誌）
Japanese journal of applied physics. Part. 1, Regular papers, brief communications & review papers : JJAP
巻号年月日等（掲載誌）
43(5A) (通号 592) 2004.5
掲載巻
43
掲載号
5A
掲載通号
592
掲載ページ
2457～2461