SiC結晶の低温液相エピタキシャル成長における成長モード
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 田中 昭安宅 竜也大倉 英次 他
- タイトル（掲載誌）
- 静岡大学電子工学研究所研究報告
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 38 2003
- 掲載巻
- 38
- 掲載ページ
- 15～20
- 掲載年月日（W3CDTF）
- 2003
- ISSN（掲載誌）
- 0286-3383