Design and Study of Silicone-based Materials for Bilayer Resist Application
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- Shintaro YamadaSungseo ChoJai Hyoung Lee 他
- タイトル（掲載誌）
- Journal of photopolymer science and technology
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 17(4) 2004
- 掲載巻
- 17
- 掲載号
- 4
- 掲載ページ
- 511～518
- 掲載年月日（W3CDTF）
- 2004