Evaluation of Internal Stresses in Single-, Double- and Multi-Layered TiN and TiAlN Thin Films by Synchrotron Radiation(Special Issue on Advanced Technology of Experimental Mechanics)

• 資料種別: 記事
• タイトル: Evaluation of Internal Stresses in Single-, Double- and Multi-Layered TiN and TiAlN Thin Films by Synchrotron Radiation
• 著者・編者: Takao Hanabusa; Kazuya Kusaka; Tatsuya Matsue 他
• シリーズタイトル: Special Issue on Advanced Technology of Experimental Mechanics
• 著者標目: Takao Hanabusa; Kazuya Kusaka; Tatsuya Matsue
• タイトル（掲載誌）: JSME international journal. Ser. A, Solid mechanics and material engineering
• 巻号年月日等（掲載誌）: 47(3) 2004.7
• 掲載巻: 47
• 掲載号: 3
• 掲載ページ: 312～317
• 掲載年月日（W3CDTF）: 2004-07
• ISSN（掲載誌）: 1344-7912
• ISSN-L（掲載誌）: 1344-7912
• 出版事項（掲載誌）: Tokyo : Japan Society of Mechanical Engineers
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: eng
• 件名標目: Tin Film; TiN; TiAlN; Residual Stress; Synchrotron Radiation; X-Ray Diffraction; Multi-Layer Structure
• NDLC: ZN11
• 対象利用者: 一般
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Z53-E315
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 7006180; http://id.ndl.go.jp/bib/7006180
• 整理区分コード: 632