FIB-VC観察によるMOSトランジスタのリークパス特定 (〔日本信頼性学会〕第12回研究発表会報文集 ; セッション2 試験・故障解析)
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 池田 洋直石井 達也
- タイトル（掲載誌）
- 信頼性 = The journal of Reliability Engineering Association of Japan : 日本信頼性学会誌
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 26(5) (通号 137) 2004.7
- 掲載巻
- 26
- 掲載号
- 5
- 掲載通号
- 137