MEMS商業化技術専門委員会マイクロ・ナノ技術のビジネス化を目指して(特集〔精密工学会〕専門委員会・分科会研究レビュー)

掲載誌名: 精密工学会誌 = Journal of the Japan Society for Precision Engineering / 会誌編集委員会編 70(8) (通号 836) 2004.8

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資料種別: 記事
タイトル: MEMS商業化技術専門委員会マイクロ・ナノ技術のビジネス化を目指して
著者・編者: 前田龍太郎
伊藤寿浩
シリーズタイトル: 特集〔精密工学会〕専門委員会・分科会研究レビュー
著者標目: 前田龍太郎
伊藤寿浩
タイトル（掲載誌）: 精密工学会誌 = Journal of the Japan Society for Precision Engineering / 会誌編集委員会編
巻号年月日等（掲載誌）: 70(8) (通号 836) 2004.8
掲載巻: 70
掲載号: 8
掲載通号: 836
掲載ページ: 1007～1011
掲載年月日（W3CDTF）: 2004-08
ISSN（掲載誌）: 0912-0289
ISSN-L（掲載誌）: 0912-0289
出版事項（掲載誌）: 東京 : 精密工学会
出版地（国名コード）: JP
本文の言語コード: jpn
件名標目: packaging
hotembossing
microforming
nanoimprinting
NDLC: ZN12
対象利用者: 一般
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: Z16-466
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 7059466
http://id.ndl.go.jp/bib/7059466
整理区分コード: 632