多層サブミクロン薄膜における界面コーナー部はく離発生条件の破壊力学的評価(特集破壊力学)

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資料種別: 記事
タイトル: 多層サブミクロン薄膜における界面コーナー部はく離発生条件の破壊力学的評価
著者・編者: 澁谷忠弘
于強
白鳥正樹他
シリーズタイトル: 特集破壊力学
著者標目: 澁谷忠弘
于強
白鳥正樹
タイトル（掲載誌）: 材料 / 日本材料学会 [編]
巻号年月日等（掲載誌）: 53(8) 2004.8
掲載巻: 53
掲載号: 8
掲載ページ: 850～855
掲載年月日（W3CDTF）: 2004-08
ISSN（掲載誌）: 0514-5163
ISSN-L（掲載誌）: 0514-5163
出版事項（掲載誌）: 京都 : 日本材料学会
出版地（国名コード）: JP
本文の言語コード: jpn
件名標目: Thin films
Interface
Crack initiation
Three-dimensional FEM
Stress singularity at the corner
Advanced LSI
NDLC: ZM16
対象利用者: 一般
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: Z14-267
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 7068393
http://id.ndl.go.jp/bib/7068393
整理区分コード: 632