大気圧プラズマCVD法により高速形成したSiNx薄膜の構造と成膜パラメータの相関
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 垣内 弘章中濱 康治大参 宏昌 他
- タイトル（掲載誌）
- 精密工学会誌論文集 / 会誌編集委員会 編
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 70(7) (通号 835) 2004.07
- 掲載巻
- 70
- 掲載号
- 7
- 掲載通号
- 835
- 掲載ページ
- 956～960