多重磁極マグネトロンスパッタリング法で作製したFe-N薄膜の磁化特性と膜構造

• 資料種別: 記事
• タイトル: 多重磁極マグネトロンスパッタリング法で作製したFe-N薄膜の磁化特性と膜構造
• 著者・編者: 河合 克浩; 川畑 敬志; 本多 茂男
• 著者標目: 河合 克浩; 川畑 敬志; 本多 茂男
• タイトル（掲載誌）: 日本応用磁気学会誌
• 巻号年月日等（掲載誌）: 28(9) (通号 200) 2004
• 掲載巻: 28
• 掲載号: 9
• 掲載通号: 200
• 掲載ページ: 991～996
• 掲載年月日（W3CDTF）: 2004
• ISSN（掲載誌）: 0285-0192
• ISSN-L（掲載誌）: 0285-0192
• 出版事項（掲載誌）: 東京 : 日本磁気学会
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: Fe-N films; magnetron sputtering system; plasma confinement
• NDLC: ZM35
• 対象利用者: 一般
• コレクション（個別）: 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > 学術機関 > 学協会; https://dl.ndl.go.jp/collections/B00043
• オンライン閲覧公開範囲: インターネット公開
• 遠隔複写可否（NDL）: 不可
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Z15-398
• 関連情報（URI）: http://dl.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/10466796
• 関連情報（国立国会図書館永続的識別子）: info:ndljp/pid/10466796; http://dl.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/10466796
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 7080183; http://id.ndl.go.jp/bib/7080183
• 整理区分コード: 632

• 要約等: Thin films of Fe and Fe-N have been prepared using an rf magnetron sputtering system equiped with multipolar magnetic plasma confinement (MMPC), which...