真空紫外エキシマランプを用いたペルヒドロポリシラザンによるシリカ薄膜の形成
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 長沼 康弘田中 聡美加藤 千尋 他
- タイトル（掲載誌）
- 日本セラミックス協会学術論文誌 / 日本セラミックス協会 [編]
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 112(1311) 2004.11
- 掲載巻
- 112
- 掲載号
- 1311
- 掲載ページ
- 599～603
- 掲載年月日（W3CDTF）
- 2004-11