圧電モータを用いたナノメートルオーダ高精度リニアステージ

• 資料種別: 記事
• タイトル: 圧電モータを用いたナノメートルオーダ高精度リニアステージ
• 著者・編者: 宗石 猛; 富川 義朗
• 著者標目: 宗石 猛; 富川 義朗
• タイトル（掲載誌）: 日本音響学会誌
• 巻号年月日等（掲載誌）: 60(12) 2004
• 掲載巻: 60
• 掲載号: 12
• 掲載ページ: 711～716
• 掲載年月日（W3CDTF）: 2004
• ISSN（掲載誌）: 0369-4232
• ISSN-L（掲載誌）: 0369-4232
• 出版事項（掲載誌）: 東京 : 日本音響学会
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: 超音波モータ; 圧電振動; ナノメートルオーダ精度; Piezo-motor; Ultrasonic motor; Piezoelectric vibration; Nanometer-order precision; Linear stage
• NDLC: ZM35
• 対象利用者: 一般
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Z15-15
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 7175697; http://id.ndl.go.jp/bib/7175697
• 整理区分コード: 632

• 要約等: 近年,半導体の高集積化に代表されるように,精密機器の高精度化の要求はますます高まっている。特にナノメートルオーダ(以下ナノオーダ)の位置決めや等速性を有するステージが必要となり,ステージ性能が精密機器の性能を決定することが多くなってきた。ナノオーダで制御できるステージは,これまでも検討されてきたが,磁場変動や発熱が嫌われる特殊環境下において,ナノオーダで制御できるものはまだ実現されてはいない。その中,磁場変動がなく発熱の少ない圧電リニアモータ(以下,圧電モータ)が注目されている。しかし,圧電モータは,その特性上,ステージに振動を与えるので,これまでは敬遠されてきた.特にステージを秒速数μm程度の低速で移動させる場合は,圧電モータの駆動周波数を低くする必要があるため,振動変位が大きくなり,結局は圧電モータの使用は難しい状態であった。このため,筆者らは新しいナノオーダ精度のリニアステージを検討した。すなわち,圧電モータヘの駆動電圧波形や製造上の工夫を加え,ステージ振幅をナノオーダに低減し,ナノオーダの等速性を持つ高精度ステージを実現した。
• DOI: 10.20697/jasj.60.12_711
• オンライン閲覧公開範囲: インターネット公開
• 連携機関・データベース: 科学技術振興機構 : J-STAGE; http://www.jstage.jst.go.jp

• 要約等: 近年,半導体の高集積化に代表されるように,精密機器の高精度化の要求はますます高まっている。特にナノメートルオーダ(以下ナノオーダ)の位置決めや等速性を有するステージが必要となり,ステージ性能が精密機器の性能を決定することが多くなってきた。ナノオーダで制御できるステージは,これまでも検討されてきたが,磁場変動や発熱が嫌われる特殊環境下において,ナノオーダで制御できるものはまだ実現されてはいない。その中,磁場変動がなく発熱の少ない圧電リニアモータ(以下,圧電モータ)が注目されている。しかし,圧電モータは,その特性上,ステージに振動を与えるので,これまでは敬遠されてきた.特にステージを秒速数μm程度の低速で移動させる場合は,圧電モータの駆動周波数を低くする必要があるため,振動変位が大きくなり,結局は圧電モータの使用は難しい状態であった。このため,筆者らは新しいナノオーダ精度のリニアステージを検討した。すなわち,圧電モータヘの駆動電圧波形や製造上の工夫を加え,ステージ振幅をナノオーダに低減し,ナノオーダの等速性を持つ高精度ステージを実現した。
• DOI: 10.20697/jasj.60.12_711; https://doi.org/10.20697/jasj.60.12_711
• 関連情報（URI）: http://id.ndl.go.jp/bib/7175697; https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I7175697
• 連携機関・データベース: 国立情報学研究所 : CiNii Research; https://cir.nii.ac.jp/
• 提供元機関・データベース: Japan Link Center; https://japanlinkcenter.org/top; 雑誌記事索引データベース; https://ndlsearch.ndl.go.jp; CiNii Articles
• 書誌ID（NDLBibID）: 7175697; http://id.ndl.go.jp/bib/7175697
• NII論文ID: 110003141675